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第135章 我拿名誉陪你疯（第3页）

“你的微振动理论成立，那么光刻机工件台在进行Y轴超长行程定位时，为了补偿这种微振动带来的随机误差，伺服电机的PID增益参数，应该如何动态调整？”

这个问题，像一颗深水炸弹。

在场的专家们，有一半人甚至都没完全听懂。

而听懂了的那一半，脸色瞬间变了。

太刁钻了。

这个问题，已经脱离了理论，直指设备调试最核心、最底层的控制逻辑。

这已经不是科学问题。

这是经验问题。

是那种只有把一台机器玩到骨头里，才能摸索出来的，属于“术”的范畴。

高华最得意的那个学生，张了张嘴，额头已经见了汗。

这个问题，他答不上来。

整个研究所，或许除了高华自己，没人能答上来。

所有人的目光，都聚焦在李向东身上。

有看好戏的，有轻蔑的，有好奇的。

李向东抬起头，迎着高华那审视的目光。

他几乎没有思考。

“不能调增益。”

他开口，第一句话就让所有人愣住了。

“那是扬汤止沸。”

“PID算法的基础，是误差的可预测性。但这种微振动是随机的，你加强补偿，只会让电机在过度修正和修正不足之间，疯狂震**，死的更快。”

他的语言，没有半点学术味道。

粗糙，直接，像个车间里混了一辈子的老钳工。

“那你说怎么办？”

高华追问，声音里带上了一丝他自己都没察觉到的紧迫。

“别管它。”

李向东说出了三个让所有专家都以为自己听错了的字。

“放弃在Y轴上做补偿。把运算量，全部交给Z轴，也就是负责对焦的镜头组。”

“让镜头去追工件台的抖动，而不是让工件台自己去克服抖动。”

“电机是腿，镜头是眼。腿瘸了，就让眼睛看得更准一点，脑子算得更快一点，去适应瘸腿的节奏。”

“用软件的冗余，去弥补硬件的缺陷。”

会议室里，鸦雀无声。

专家们，你看看我，我看看你，脸上全是见了鬼的表情。